
潔淨室防靜電設施的施工,應能抑製或減少靜電的產生,或易於泄漏已產生的靜電。
14.1.2本章主要適用於防靜電地麵和管道係統部分防靜電設施的施工和驗收。防靜電地麵施工除應符合本章規定外,還應符合本規範第4章的有關規定,以及現行行業標準《防靜電地麵施工及驗收規範》SJ31469的要求。
14.2 防靜電地麵
14.2.1防靜電地麵麵層應選擇耐磨、耐腐蝕、耐老化、不產塵、防火並具有穩定持久的防靜電性能的材料製作。
14.2.2在有220V及其以上電壓的場所,其防靜電地麵宜使用靜電耗散型材料,其表層的表麵電阻應為1x10Ω~1x10'°Ω,或體積電阻1x10Ω~1x10°Ω。
14.2.3具有不燃性能要求的地麵宜選用防靜電水磨石和防靜電瓷質地板。
14.3防靜電水磨石地麵
14.3.1防靜電水磨石所用砂、石、水泥嵌條等材料,應符合本規範第4.2.2條的有關規定。
14.3.2 在導電地網上施工找平層,宜使用1:3幹性水泥砂漿(按水泥重量的配比)摻入複合導電粉,複合導電粉由1份水泥砂漿與0.2%份導電粉組成,並攪拌均勻,覆蓋於導電地網上,然後鑲嵌分格條。
14.3.3金屬嵌條截麵宜為工字形,表麵應作絕緣處理,敷設時
不得交叉和連接,相鄰處有3mm間距,分格條與導電網之間距離不應小於10mm。
14.3.4水磨石施工前應清理基層地麵並塗以絕緣漆,對於露出表麵的金屬應塗兩遍,然後敷設鋼筋導電地網,鋼筋直徑為4mm~6mm,地網與接地端子應焊接牢固。
14.3.5 最後施工水磨石麵層,應符合本規範第4.2.2條的相關規定。
14.3.6地麵使用前應在水磨石麵層上打防靜電地板蠟。