
電子工業潔淨室的特點一是大,二是多變。幾千平方米、上萬平方米的麵積並不少見。電子工業的技術更新快,工藝變了,平麵布局就要跟著變,因此平麵上不宜有固定的分隔,特別是很小的分隔,具體說,有以下一些獨特之處應加注意。
(1)平麵由工藝決定,電子工業潔淨廠房的工藝布局應適應電子產品發展的靈活性,滿足產品生產工藝改造和擴大生產的需求。
(2)主體結構宜采用大空間及大跨度柱網,不宜采用內牆承重體係,
(3)大型電子工業潔淨廠房常采用上技術夾層、下技術夾層這種“夾心”式多層構造。
(4)應考慮大型生產工藝設備的安裝、維修要求,設置必要的運輸通道和不影響潔淨生產環境的安裝口或檢修口。
(5)電子工業潔淨室按二級耐火等級設計。
(6)特種氣體的儲存和分配間應有耐火隔牆與潔淨室(區)分開,該牆耐火極限不低於 1h。有毒的矽烷或其混合物氣瓶儲存區至少三麵是敞開的,氣瓶與周圍構築物或圍欄之間的距離應大於3m,儲存區設置的雨篷應不低於3.5m。
(7)電子工業潔淨室的裝飾材料不得采用釋放對電子產品有影響物質的材料、(8)電子工業潔淨室允許設空氣吹淋室,這是和一般生物潔淨室不同的。吹淋室應與潔淨工作服更衣室相鄰。單人吹淋室按最大班人數為30人一間設計,當工作人員超過5人時,應設旁通門,當人數太多或為了縮短通過時間,也可設隧道式吹淋室。
(9)對於高級別潔淨室,為了盡可能不影響氣流的單向性、平行性,照明燈具宜采用所謂淚珠形燈具