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 管道係統安裝
6.3.1管道安裝前應進行以下準備工作:
1配管下料時應采用“等離子切割”或專用切割鋸、割管刀等工具，不應采用氧-乙炔焰切割，不得塗抹油脂或潤滑劑，
2管道切口應與管軸線垂直，切口表麵應平整、無裂紋，應去除毛刺。
3 在主管道上連接支管或部件時，宜用成品連接件。
4 普通不鏽鋼管應在工廠的清洗槽中用酸洗液清洗後再用清水衝洗幹淨。
5 氧氣管道及附件，安裝前應按相關規定方法進行脫脂，脫脂應在遠離潔淨室的地點進行，並做好操作人員的安全與環境保護工作。
6.3.2管道敷設應符合設計要求，設計無要求時，應敷設在人員不易碰撞的高度上，否則應有防護設施。輸送幹燥氣體的管道宜無坡度敷設;真空吸引管道和含濕氣體管道的坡度宜大於或等於0.3%，坡向真空泵站或冷凝水收集器。
6.3.3不鏽鋼管道應按現行國家標準《現場設備、工業管道焊接工程施工及驗收規範》GB50236的要求采用氬弧焊焊接連接，焊接時管內應充氬氣保護，直至焊接、吹掃、冷卻完畢後停止充氣。
6.3.4 有接地要求的管道，法蘭間必須接有多芯導電跨線。
6.3.5 穿過圍護結構進入潔淨室的氣體管道，應設套管，套管內管材不應有焊縫與接頭，管材與套管間應用不燃材料填充並密封，套管兩端應有不鏽鋼盤型封蓋。
6.3.6 高純氣體管道的安裝，除應符合以上有關條款規定外，還應符合下列規定:
1 經脫脂或拋光處理的不鏽鋼管，安裝前應采取保護措施，防止二次汙染。
2 管道預製、分段組裝作業，不得在露天環境中進行。3 分段預製或組裝的管段完成後兩端應用膜、板等封閉。
4 高純氣體管道為無縫銅管時，應采用承插式硬釺焊焊接、焊接紫銅管時應按現行國家標準《磷銅釺料》GB/T 6418 要求選用磷銅釺料;焊接紫銅與黃銅管時宜按現行國家標準《銀基釘料》GB10046 要求，選用HL304含銀量為50%的銀基釺料管內應通入與工藝氣體同等純度的氮氣作為保護氣體並吹除，不宜用沾水紡織材料擦拭。
5 高純氣體管道如無法避免用螺紋連接時，宜在銅與銅銅與銅合金附件外螺紋上均勻掛錫，非氧氣管道宜采用聚四氟乙烯帶纏繞管口螺紋。
6 不鏽鋼管、銅管應冷彎，彎管半徑宜大於等於5倍管材外徑;管壁不得起皺。
7 高純氣體管道為聚偏二氟乙烯(PVDF)管時，應采用自動或半自動熱焊機焊接連接。兩管對接麵錯邊不應大於1mm。不同壁厚的管子不得對焊，熱焊接連接時應采取保護環境和人員安全的措施。
8管道係統支架間距應小於普通氣體管道的支架間距，並應采用吊架、彈簧支架、柔性支撐等固定方式。應按現行國家標準《工業金屬管道工程施工及驗收規範》GB50235的要求，在不鏽鋼管與碳鋼支架之間墊人不鏽鋼或氯離子含量不超過50x10-6(50ppm)的非金屬墊層。
9 潔淨室內高純氣體與高幹燥度氣體管道應為無坡度敷設，不考慮排水功能，終端應設放氣管。
6.3.7 醫用氣體管道安裝後應加色標。不同氣體管道上的接口應專用，不得通用。