電子潔淨廠房淨化工程是一項複雜而精細的係統工程，旨在為電子器件生產提供一個潔淨、穩定和安全的工作環境，以下將從設計、施工、驗收、運維等維度對其進行詳細介紹：
前期規劃與設計
- 需求分析：根據生產的電子產品特性，如半導體芯片、液晶麵板等，確定所需的潔淨等級。國際標準化組織（ISO）標準中，潔淨室等級從 ISO 1（最高潔淨度）到 ISO 8（最低潔淨度）不等3。
- 設計布局
- 功能分區：合理劃分核心生產區、輔助生產區、倉儲與物流區、人員淨化區等，不同區域有不同的潔淨度要求和氣流組織形式1。
- 流線設計：考慮人流、物流、氣流的方向和控製，避免交叉汙染，同時確保生產效率和維護空間，還要設置緊急疏散通道3。
工程施工
- 結構與圍護係統構建3
- 地麵處理：進行地麵平整、防靜電處理及必要的防水處理，鋪設環氧樹脂自流平或 PVC 卷材地板，不僅耐磨、防靜電，還能有效減少灰塵積聚。
- 隔牆與天花板：采用輕鋼龍骨 + 無塵板（如彩鋼板、岩棉板）構造，確保密閉性同時便於清潔，天花板設計時需考慮安裝高效過濾器（HEPA）的位置。
- 空調淨化係統安裝1
- 空調係統設計：采用集中式或分散式 HVAC 係統，確保室內溫濕度穩定並維持正壓狀態，防止外界汙染物侵入。
- 過濾係統設置：設置初效、中效、高效三級過濾係統，高效過濾器（HEPA）通常位於送風口，能有效過濾掉 0.3μm 以上的微粒，保證空氣潔淨度。
- 氣流組織規劃：通過 CFD（計算流體動力學）模擬優化氣流分布，實現單向流或非單向流氣流模式，以滿足不同區域的潔淨需求。
- 電氣與弱電係統配置3
- 電氣係統：包括照明、插座、應急電源等，應選用防爆、防塵型設備，確保安全可靠。
- 弱電係統：涵蓋監控、通訊、自動化控製係統等，需布線隱蔽且易於維護，同時考慮 EMC（電磁兼容）設計，防止幹擾。
- 水電氣管路與排風係統安裝3
- 管路布局：純水、排水、氣體管道等應采取隱蔽安裝，避免交叉汙染，並設置必要的淨化處理設施。
- 排風與廢氣處理：針對特定工藝產生的廢氣，需設置專門的排風係統及淨化裝置，確保排放達標。
驗收
- 性能測試：邀請第三方檢測機構進行潔淨度、溫濕度、壓差等性能測試，確保達到設計標準3。
- 係統調試：對淨化工程的各個係統，如空調淨化係統、電氣係統、自控係統等進行聯合調試，確保各係統之間協調運行，滿足電子潔淨廠房的使用要求。
運維管理
- 日常維護：製定嚴格的維護計劃，包括過濾器的定期更換、設備的清潔與保養、地麵的清潔等1。
- 人員管理：對進入潔淨廠房的人員進行嚴格的培訓和管理，包括更衣程序、操作規範等，確保人員行為不會對潔淨環境造成汙染4。
- 持續改進：建立環境參數曆史數據庫，通過大數據分析優化控製策略，定期評估新技術的適用性，逐步引入以提升車間性能1。